광원에서 발생한 빛이 광학계를 통해 샘플에 입사되고, 박막 표면과 기판 계면에서 반사된 빛을 수집합니다.

수집된 반사광은 파장별로 분리되어 스펙트럼 데이터로 변환되며, 측정된 반사 스펙트럼과 모델 데이터를 Fitting하여 박막의 두께 및 광학상수를 계산합니다.