PRODUCT
박막두께측정기
ST3000
현미경이 없는 Head 형태의 타입으로서 공정장비에 부착하여 실시간으로 두께 관리가 가능합니다.
Spin Coater, Slit Coater, Roll Printer 등 각 종 공정장비에서 PLC와 연결하여 제어가 가능합니다.
| Specification | ||
| 치수와 제어 구성 | System size : 220 x 300 x 98 mm | |
| Weight:: 10 kg | ||
| 광학측정 파트(헤드) | Used wavelength range : 400~800nm(option 900~2100nm) | |
| Detector: Linear silicon CCD array | ||
| 측정광원 | Tungsten-Halogen stabilized technical lamp | |
| Specification : 12V, 100W | ||
| Color temperature : 2,800K | ||
| Life Time : Approx 1500hours | ||
| 측정 포인트 크기 | 27mm (실제 데이터 얻는 부분 2mm) | |
| 광 파이버 | Choose Wavelength : 300~800nm(option 900~2100nm) | |
| Fiber diameter: 200um | ||
| Measurable Wavelength range | 400 ~ 800nm (Option:900 ~ 2100nm) | |
| Detector (Linear Array Type) | 2048 pixels | |
| Fiber | 200㎛ (Core) | |
| Theoretical resolution | 1.5 nm | |
| Measurement spot size | About 2mm | |
| Measurement Material | Transparent Layer | |
| Thickness measurement range | 1㎛ ~ 40㎛(depending on materials) | |
| Repeatability (1sigma) | 15A at 20,000A (Actual Sample) | |
| Repeatability (1sigma) | 10A at 20,000A (SiO2 on Si-Wafer : SRM) | |
| (Continuously, Measuring the same point 30 times) | ||
| Measuring Speed | ≤ 2sec/ point (Without Moving) | |
| Multi-layer measurement | Single layers (Depends on materials) | |